半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈過(guò)于龐大，半導(dǎo)體巨頭公司通常都是通過(guò)不斷的收購(gòu)或合并來(lái)豐富自己的產(chǎn)品線，從而為客戶提供一套完整的解決方案。
1974：收購(gòu)Galamar Industries（硅片制造）1980：收購(gòu)英國(guó)Lintott Engineering（離子注入）1984：成為第一家進(jìn)入中國(guó)的外資半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商1992：超越東京電子成為全球＊大半導(dǎo)體設(shè)備制造商1997：收購(gòu)Opal Technologies（IC設(shè)計(jì)高速計(jì)量系統(tǒng)）；收購(gòu)Orbot Instruments（成品率提高系統(tǒng)）1998：收購(gòu)Consilium（MES系統(tǒng)）1999：收購(gòu)Obsidian Inc（CMP技術(shù)）；收購(gòu)Applied Komatsu Technology（FPD領(lǐng)域的CVD系統(tǒng)）2000：收購(gòu)Etec Systems（光罩圖案生產(chǎn)解決方案）2001：在上海成立中國(guó)總部；收購(gòu)Schlumberger（電子束晶圓檢測(cè)業(yè)務(wù)）；收購(gòu)Oramir（晶片檢測(cè)控制系統(tǒng)）2004：收購(gòu)Metron Technology（原料管理、廠房維護(hù)等）2005：收購(gòu)SCP Global Techbologies的濕法工藝及硅片清洗業(yè)務(wù)2006：收購(gòu)Applied Films公司，進(jìn)入太陽(yáng)能設(shè)備市場(chǎng)2007：收購(gòu)Brooks Software（半導(dǎo)體和平板顯示工廠管理和控制軟件）；收購(gòu)HCT Shaping Systems SA（生產(chǎn)光伏電池結(jié)晶硅底層的晶片系統(tǒng)）；收購(gòu)Baccini（晶硅電池制造領(lǐng)域的金屬鍍膜和檢測(cè)系統(tǒng)）2009：收購(gòu)Semitool（芯片包裝及制作）；在西安成立全球＊大太陽(yáng)能技術(shù)中心；關(guān)閉thin film solar事業(yè)部2011：收購(gòu)Varian Semiconductor（離子注入、晶圓制造）2013：收購(gòu)東京電子。（2015.4取消合并）2019：收購(gòu)國(guó)際電氣。（2021.3終止合作）2021：材料工程技術(shù)推動(dòng)中心揭幕2022：收購(gòu)Picosun（ALD業(yè)務(wù)）1997：收購(gòu)Tencor（薄膜測(cè)量技術(shù)）1998：收購(gòu)Amray（掃描電子顯微鏡）；收購(gòu)Uniphase's Ultirapointe（硅片缺陷分析）；收購(gòu)Nanopro GmbH（干涉測(cè)量）；收購(gòu)VARS（產(chǎn)線圖像管理）1999：收購(gòu)ACME Systems Inc（產(chǎn)量軟件分析）2000：收購(gòu)Fab Solutions（過(guò)程控制軟件）；收購(gòu)FINLE Technologies（光刻建模及數(shù)據(jù)分析）2001：收購(gòu)Phase Metrics（數(shù)據(jù)存儲(chǔ)檢驗(yàn)認(rèn)證）2002：收購(gòu)QC Optics（半導(dǎo)體制造激光檢測(cè)系統(tǒng)）2004：收購(gòu)Candela Instruments（表面檢測(cè)）2006：收購(gòu)Inset（晶圓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)）2007：收購(gòu)OnWafer Technologies（等離子刻蝕）；收購(gòu)SensArray（即時(shí)溫度測(cè)量技術(shù)）；收購(gòu)Wherma-Wave（即時(shí)設(shè)備服務(wù)）2008：收購(gòu)ICOS Vision Systems（晶圓檢測(cè)）；收購(gòu)Vistec Semiconductor（掩膜測(cè)量）2009：收購(gòu)Ambios Technologies（光學(xué)輪廓儀）2014：收購(gòu)Luminescent Technologies（發(fā)光器）；收購(gòu)SPTS Technologies（制造半導(dǎo)體、MEMS和其他微電子設(shè)備）2017：收購(gòu)Zeta Technologies（非接觸式探查器）2018：收購(gòu)Keysight Technologies's Nano Indenter（力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)）；收購(gòu)Nanomechanics（納米壓痕儀）2019：收購(gòu)Filmetrics（薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)）；收購(gòu)Capres A/S（電阻率測(cè)量技術(shù)）；收購(gòu)Orbotech（半導(dǎo)體檢測(cè)）2021：收購(gòu)ECI Technologies（CVS、CPV）1984：荷蘭＊＊飛利浦與Advanced Semicondutor Materials合資成立ASML1986：PAS2500步進(jìn)機(jī)推向市場(chǎng)；與卡爾蔡司建立密切合作1999：收購(gòu)MicroUnity Systems Engineering Inc業(yè)務(wù)部門(mén)MaskTools,改善光刻機(jī)的掃描和成像能力；加入Applied Materials，一起研發(fā)EPL（離子束光刻）項(xiàng)目2000：首臺(tái)TwinSCAN系統(tǒng)光刻機(jī)出貨2001：收購(gòu)SVG，獲得投影掩罩瞄準(zhǔn)技術(shù)2007：收購(gòu)Brion Technologies（計(jì)算光刻集成電路）2008：第一臺(tái)YielsStar（250D）出貨2010：交付極紫外（EUV）光刻工具（NXE：3100），標(biāo)志光刻新時(shí)代來(lái)臨2012：收購(gòu)Wijdeven Motion（晶圓和光罩平臺(tái)制造組件），直接影響納米精度2013：收購(gòu)Cymer（光刻光源制造商）2016：收購(gòu)HMI（電子束計(jì)量工具）；收購(gòu)蔡司SMT（24.9%股權(quán)），強(qiáng)化雙方在半導(dǎo)體微影技術(shù)方面的合作2019：收購(gòu)Mapper（光束電子光刻機(jī)）2020：收購(gòu)Berliner Glas（陶瓷和光學(xué)模塊制造商）1965：代理美國(guó)仙童半導(dǎo)體IC測(cè)試設(shè)備1967：泛電子株式會(huì)社成立，日本首家進(jìn)口電子分銷商1968：與擴(kuò)散爐廠商美國(guó)Thermco成立合資公司TEL-Thermco Engineering1973：與美國(guó)computervision公司簽訂代理協(xié)議，開(kāi)始進(jìn)口CAD/CAM系統(tǒng)1975：退出消費(fèi)電子產(chǎn)品的生產(chǎn)和出口1981：成立TEL-GenRad拓展測(cè)試設(shè)備領(lǐng)域1982：成立TEL-Varian，開(kāi)始研發(fā)離子注入設(shè)備1995：收購(gòu)Tokyo Electron FE Korea，成立Tokyo Electron Korea2000：收購(gòu)Supercritical System（晶圓清洗設(shè)備）2001：收購(gòu)Timbre Technologies（半導(dǎo)體測(cè)量軟件）2009：進(jìn)入光伏設(shè)備市場(chǎng)2012：收購(gòu)NEXX System（WLP和3D封裝設(shè)備）；收購(gòu)FSI International（清潔和表面處理）；收購(gòu)Magnetic Solutions（磁性材料和解決方案）；收購(gòu)Swiss Oerlikon Solar（光伏板生產(chǎn)設(shè)備）
2013：與AMAT簽署合并協(xié)議（2015年解除協(xié)議）2020：TEL Manufacturing and Engineering of America成立2022：上市轉(zhuǎn)移到東京證券所的Prime市場(chǎng)1991：在東京成立全資子公司泛林技術(shù)中心1993：在日本開(kāi)設(shè)工藝研發(fā)中心1997：收購(gòu)Ontrak System（CMP設(shè)備）2006：收購(gòu)Bullen Semiconductor（高純度硅元件和組件）2008：收購(gòu)SEZ AG（晶圓清潔和干刻設(shè)備）2009：成立silfex公司（半導(dǎo)體精密元器件）2012：與Novellus Systems合并（CVD、PVD、CMP、ECD等設(shè)備）2015：宣布收購(gòu)KLA-Tencor。（2016年宣布合并失?。?/span>2017：收購(gòu)Coventor（半導(dǎo)體制造和MEMS設(shè)計(jì)）2022：收購(gòu)SEMSYSCO GmbH（高性能計(jì)算，人工智能領(lǐng)域）
