全球五大半導(dǎo)體公司發(fā)展史
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈過于龐大,半導(dǎo)體巨頭公司通常都是通過不斷的收購或合并來豐富自己的產(chǎn)品線,從而為客戶提供一套完整的解決方案。AMAT(美國應(yīng)用材料):1967:Applied Materials成立1972:美國納斯達(dá)克上市1974:收購Galamar Industries(硅片制造)1979:日本分公司成立,正式進(jìn)軍亞洲1980:收購英國Lintott Engineering(離子注入)1984:成為第一家進(jìn)入中國的外資半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商1992:超越東京電子成為全球*大半導(dǎo)體設(shè)備制造商1997:收購Opal Technologies(IC設(shè)計(jì)高速計(jì)量系統(tǒng));收購Orbot Instruments(成品率提高系統(tǒng))1998:收購Consilium(MES系統(tǒng))1999:收購Obsidian Inc(CMP技術(shù));收購Applied Komatsu Technology(FPD領(lǐng)域的CVD系統(tǒng))2000:收購Etec Systems(光罩圖案生產(chǎn)解決方案)2001:在上海成立中國總部;收購Schlumberger(電子束晶圓檢測業(yè)務(wù));收購Oramir(晶片檢測控制系統(tǒng))2004:收購Metron Technology(原料管理、廠房維護(hù)等)2005:收購SCP Global Techbologies的濕法工藝及硅片清洗業(yè)務(wù)2006:收購Applied Films公司,進(jìn)入太陽能設(shè)備市場2007:收購Brooks Software(半導(dǎo)體和平板顯示工廠管理和控制軟件);收購HCT Shaping Systems SA(生產(chǎn)光伏電池結(jié)晶硅底層的晶片系統(tǒng));收購Baccini(晶硅電池制造領(lǐng)域的金屬鍍膜和檢測系統(tǒng))2009:收購Semitool(芯片包裝及制作);在西安成立全球*大太陽能技術(shù)中心;關(guān)閉thin film solar事業(yè)部2011:收購Varian Semiconductor(離子注入、晶圓制造)2013:收購東京電子。(2015.4取消合并)2019:收購國際電氣。(2021.3終止合作)2021:材料工程技術(shù)推動(dòng)中心揭幕2022:收購Picosun(ALD業(yè)務(wù))KLA(科磊):1975:KLA成立1980:公司上市1997:收購Tencor(薄膜測量技術(shù))1998:收購Amray(掃描電子顯微鏡);收購Uniphase's Ultirapointe(硅片缺陷分析);收購Nanopro GmbH(干涉測量);收購VARS(產(chǎn)線圖像管理)1999:收購ACME Systems Inc(產(chǎn)量軟件分析)2000:收購Fab Solutions(過程控制軟件);收購FINLE Technologies(光刻建模及數(shù)據(jù)分析)2001:收購Phase Metrics(數(shù)據(jù)存儲(chǔ)檢驗(yàn)認(rèn)證)2002:收購QC Optics(半導(dǎo)體制造激光檢測系統(tǒng))2004:收購Candela Instruments(表面檢測)2006:收購Inset(晶圓監(jiān)測系統(tǒng))2007:收購OnWafer Technologies(等離子刻蝕);收購SensArray(即時(shí)溫度測量技術(shù));收購Wherma-Wave(即時(shí)設(shè)備服務(wù))2008:收購ICOS Vision Systems(晶圓檢測);收購Vistec Semiconductor(掩膜測量)2009:收購Ambios Technologies(光學(xué)輪廓儀)2014:收購Luminescent Technologies(發(fā)光器);收購SPTS Technologies(制造半導(dǎo)體、MEMS和其他微電子設(shè)備)2017:收購Zeta Technologies(非接觸式探查器)2018:收購Keysight Technologies's Nano Indenter(力學(xué)測試系統(tǒng));收購Nanomechanics(納米壓痕儀)2019:收購Filmetrics(薄膜厚度測量系統(tǒng));收購Capres A/S(電阻率測量技術(shù));收購Orbotech(半導(dǎo)體檢測)2021:收購ECI Technologies(CVS、CPV)ASML(荷蘭阿斯麥):1984:荷蘭**飛利浦與Advanced Semicondutor Materials合資成立ASML1986:PAS2500步進(jìn)機(jī)推向市場;與卡爾蔡司建立密切合作1988:建立亞洲分部1991:推出PAS5500系統(tǒng)1995:紐交所上市1999:收購MicroUnity Systems Engineering Inc業(yè)務(wù)部門MaskTools,改善光刻機(jī)的掃描和成像能力;加入Applied Materials,一起研發(fā)EPL(離子束光刻)項(xiàng)目2000:首臺(tái)TwinSCAN系統(tǒng)光刻機(jī)出貨2001:收購SVG,獲得投影掩罩瞄準(zhǔn)技術(shù)2007:收購Brion Technologies(計(jì)算光刻集成電路)2008:第一臺(tái)YielsStar(250D)出貨2010:交付極紫外(EUV)光刻工具(NXE:3100),標(biāo)志光刻新時(shí)代來臨2012:收購Wijdeven Motion(晶圓和光罩平臺(tái)制造組件),直接影響納米精度2013:收購Cymer(光刻光源制造商)2016:收購HMI(電子束計(jì)量工具);收購蔡司SMT(24.9%股權(quán)),強(qiáng)化雙方在半導(dǎo)體微影技術(shù)方面的合作2019:收購Mapper(光束電子光刻機(jī))2020:收購Berliner Glas(陶瓷和光學(xué)模塊制造商)TEL(東京電子):1963:Tokyo Electron成立1965:代理美國仙童半導(dǎo)體IC測試設(shè)備1967:泛電子株式會(huì)社成立,日本首家進(jìn)口電子分銷商1968:與擴(kuò)散爐廠商美國Thermco成立合資公司TEL-Thermco Engineering1973:與美國computervision公司簽訂代理協(xié)議,開始進(jìn)口CAD/CAM系統(tǒng)1975:退出消費(fèi)電子產(chǎn)品的生產(chǎn)和出口1978:成立日本**IC測試中心1980:東京上市1981:成立TEL-GenRad拓展測試設(shè)備領(lǐng)域1982:成立TEL-Varian,開始研發(fā)離子注入設(shè)備1995:收購Tokyo Electron FE Korea,成立Tokyo Electron Korea2000:收購Supercritical System(晶圓清洗設(shè)備)2001:收購Timbre Technologies(半導(dǎo)體測量軟件)2006:收購Epion(氣體離子束)2009:進(jìn)入光伏設(shè)備市場2012:收購NEXX System(WLP和3D封裝設(shè)備);收購FSI International(清潔和表面處理);收購Magnetic Solutions(磁性材料和解決方案);收購Swiss Oerlikon Solar(光伏板生產(chǎn)設(shè)備)2013:與AMAT簽署合并協(xié)議(2015年解除協(xié)議)2019:與Bridg建立合作2020:TEL Manufacturing and Engineering of America成立2022:上市轉(zhuǎn)移到東京證券所的Prime市場LAM(泛林半導(dǎo)體):1980:公司成立1991:在東京成立全資子公司泛林技術(shù)中心1993:在日本開設(shè)工藝研發(fā)中心1997:收購Ontrak System(CMP設(shè)備)2006:收購Bullen Semiconductor(高純度硅元件和組件)2008:收購SEZ AG(晶圓清潔和干刻設(shè)備)2009:成立silfex公司(半導(dǎo)體精密元器件)2011:成立Corus(泛林韓國)2012:與Novellus Systems合并(CVD、PVD、CMP、ECD等設(shè)備)2015:宣布收購KLA-Tencor。(2016年宣布合并失?。?017:收購Coventor(半導(dǎo)體制造和MEMS設(shè)計(jì))2021:成立馬來西亞制造工廠2022:收購SEMSYSCO GmbH(高性能計(jì)算,人工智能領(lǐng)域)